可编程自动旋涂仪
等离子辅助MOCVD
有机半导体制备系统
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离子交换光波导制备系统
多功能波导参数分析仪（棱镜耦合仪）
原子力显微镜
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扫描隧道显微镜
50nm三维光波导对准与耦合系统
NewPort自动隔振光学平台
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光纤光谱仪
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核磁共振波谱仪（NMR）
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高效液相色谱/质谱联用仪
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差示扫描量热仪（DSC）
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