宋远红、刘永新、高飞 赴 日本 国家（地区）参加学术会议（访问）总结校内公示

应 日本东京电子 邀请，我单位 宋远红、刘永新、高飞  拟赴 日本 国家（地区）进行工作访问（学术交流）。现将该团组拟出访情况公示如下：

一、  出访成员

     宋远红  职务：教授

     刘永新  职务：教授

     高  飞  职务：副教授

二、出访国家、任务、日程安排、往返航线

出访地区: 日本仙台、东京

出访任务和日程安排如下：

2019.01.21. 离开大连到日本东京，同日抵达日本仙台。

2019.01.22. 上午：东京电子的相关介绍，东京电子工厂及办公场所的参观；下午：我校老师及学生进行科研工作的介绍以及东京电子就其研究工作的介绍。

2019.01.23. 洽谈未来合作细节，以及关于实习生项目的安排。离开仙台，抵达东京。

2019.01.24. 就合作事宜进行进一步的讨论。离开东京，返回大连

往返航线: 大连-东京-大连 

三、 邀请函、邀请单位情况介绍

东京电子是世界上最大的半导体、显示制造设备商之一，为半导体、先进显示以及太阳能光伏制造行业提供设备与服务。邀请人Yuki MAEJIMA是东京电子的人力资源部的副主席。

 四、经费来源和预算

宋远红  经费账号: 3005-082184  负责人：宋远红

刘永新  经费账号：3005-844203  负责人：刘永新

高  飞  经费账号：3005-073013  负责人：高  飞

预算

国际旅费：往返机票费约 14,000元/人

东京成田机场-仙台-酒店往返交通费：约60,000日元/人

住宿费：仙台9,000 日元/人天，2天共计约18,000 日元/；东京20,000 日元/人天，1天共计约20,000日元，合计38,000日元

伙食费：10,000日元/人天，4天共计40,000 日元/人

公杂费：5,000日元/人天，4天共计20,000 日元/人

其他费用：2000元/人

合计：约 25,636元/人（按日元/人民币汇率1/0.060986计算）

 四、总结

本次交流访问主要是应东京电子人力资源部副主席Yuki MAEJIMA邀请，就等离子体模拟与实验小组（PSEG）与东京电子公司可能达成的合作进行研究和讨论。参与本次交流与讨论的我校老师和学生共计7人，就低温等离子体在半导体刻蚀方面的研究现状做了详细的报告，并与日方相关人员进行了讨论。参与的东京电子公司高层领导有数十人，他们就低温等离子体在半导体刻蚀工艺的应用及遇到的问题进行了详细地阐述，并与我校交流人员进行了讨论。此次访问，就PSEG小组与日本东京电子在等离子体工艺刻蚀方面可能达成的合作进行了详细的讨论，这对于科学研究和工业应用都极为重要。

对上述情况有任何意见，请联系王奇。（本单位联系人请各单位自行指定）

电话：84708380-8201

邮箱：wang@

单位名称 物理学院

                                 2019年 2月 25日