完全按照预定日程2023年5月20日从大连周水子机场离境，在大阪关西国际机场乘坐JR铁路直达日本京都（ISPC会址）；5月27日从日本京都乘坐JR铁路到达大阪关西国际机场飞机直达大连周水子机场入境。访问严格按照出访前计划与学校相关规定进行，经费使用完全限制在预算范围内。参会具体情况如下：
第25届国际等离子体化学研讨会（25th International Symposium on Plasma Chemistry，网址：https://www.ispc25.com/index.html）是国际上先进的等离子体化学以及半导体芯片制造工艺的前沿进展研讨会，会上不仅有很多国际上先进的半导体公司（东京电子、东芝、三星等）研发人员对最先进的半导体刻蚀及沉积工艺进行报告，还有众多学术权威带来研究的最新进展。
在会议期间，刘永新教授做了题目为“Effect of amplitude-modulation on the re-ignition of a pulsed capacitively coupled RF discharge”的特邀报告，张莹莹老师、董婉博士后以墙报的形式展示了题目为“Simulation study of dust particle distribution in dust plasma”、“Hybrid simulation of instabilities in a capacitively coupled RF CF4/Ar plasma driven by a dual-frequency source”的最新研究成果。另外物理学院王友年教授课题组博士生张逸凡、石德华、佟磊也展示了题目分别为“Fluid Study on Uniformity in Capacitively Coupled Silane Mixture Discharges”、“An experimental and computational study on the ignition process of a pulse modulated dual-RF capacitively coupled plasma operated at various low-frequency voltage amplitudes”、“Hybrid simulation of dual-frequency biased inductively coupled Cl2 plasma”的墙报。会议期间与国际上的合作者以及国际同行进行了广泛的学术交流，并初步商定了下一步的研究计划。
在本次International Symposium on Plasma Chemistry会议上，我们了解了国际同行的最新工作进展，以及最新的科研想法与思路，这对我们下一步的工作计划有重要的启示作用。
对上述情况有任何意见，请联系王奇。（外事秘书）
邮箱：wang@dlut.edu.cn
单位名称 物理学院
2023年 5月 29日
